熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是利用傳熱原理檢測(cè)流量的儀表，即根據(jù)流動(dòng)中的流體與熱源（流體中外加熱的物體或測(cè)量管外加熱體）之間熱量交換關(guān)系進(jìn)行測(cè)量；主要測(cè)量氣體；熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)主要分兩大類，即熱分布式和浸入式（或插入式）。
1、熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的特點(diǎn)
（1）熱分布式質(zhì)量流量計(jì)的主要特點(diǎn)：直接測(cè)量質(zhì)量流量無需溫壓補(bǔ)償；非接觸式，無活動(dòng)部件，無阻流件，壓力損失小，可靠性高；可測(cè)量低流速微小氣體流量，最低5mL/min（標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)）；要求氣體介質(zhì)干燥潔凈，不含水分、油等雜志；分流型可獲線性特性，可用于測(cè)量大、中氣壓流量，使用時(shí)要保證分流溫度；動(dòng)態(tài)響應(yīng)慢，時(shí)間常數(shù)5s左右。
（2）浸入式熱式質(zhì)量流量計(jì)的主要特點(diǎn)：直接測(cè)量質(zhì)量流量無需溫壓補(bǔ)償；無活動(dòng)部件，可靠性高；適用于大口徑、非圓截面管道、現(xiàn)場空間狹窄處測(cè)量（插入式）；檢測(cè)作為帶不銹鋼外殼的鉑電阻傳感器，對(duì)于其他中的粉塵、固體顆粒、油分、水分不敏感。插入式可以不斷流取出維修更換。可用于測(cè)量臟污流體測(cè)量。
2、熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的選用
（1）針對(duì)小、微量氣體流量，熱分布式質(zhì)量流量計(jì)可用于單一組分氣體或固定比例的混合氣體測(cè)量。
（2）大口徑流量測(cè)量中可選用插入式浸入式熱式質(zhì)量流量計(jì)。
3、熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)安裝使用注意事項(xiàng)
（1）安裝姿勢(shì)方面，大部分熱式分布式的質(zhì)量流量計(jì)可任何姿勢(shì)（水平、垂直或傾斜）安裝，只要在安裝好后在工作條件壓力、溫度下作電氣零點(diǎn)調(diào)整，但是有些儀表則對(duì)安裝姿勢(shì)敏感，必須嚴(yán)格按說明書進(jìn)行。大部分浸入式熱式質(zhì)量流量計(jì)性能不受安裝姿勢(shì)影響，但是在低流速時(shí)要嚴(yán)格按說明書進(jìn)行。
（2）前直管段方面，熱分布式不敏感，而帶測(cè)量管的浸入式流量傳感器和插入式儀表需要一定長度前直管段，按制造廠建議安裝。
（3）連接熱式質(zhì)量流量計(jì)的管道在常見范圍內(nèi)的振動(dòng)不會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)干擾；而插入式熱式質(zhì)量流量計(jì)的檢測(cè)桿必須固定于管道并避開振動(dòng)場所。
（4）熱式質(zhì)量流量計(jì)響應(yīng)時(shí)間長，不適用于脈動(dòng)流。
